スキャンミラーモジュールシリーズ
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  • スキャンミラーモジュールシリーズ

製品の特長:

差分式光電センサーは、モーターの回転子位置を高精度で検出し、線形性が良好で、ずれが少なく、分解能と繰り返し定位精度が高い。

■ 過負荷、過電流および逆接保護を備えており、システムの稼働をより信頼性の高いものにしています。

■ システム全体が電磁適合性最適設計を採用しており、信号対雑音比が高く、ノイズ耐性に優れています。

■ フラッピングミラー用モーターの温度ドリフト、信号干渉、ゼロポイントドリフトなどの一般的な問題を解決しました。

■ 電動機の組立精度が高く、構造が合理化されているため、静摩擦係数とゼロ点ずれが小さく、システムの優れた動的特性が保証されます。

■ 機種はコンパクトで、パッケージサイズも小さく、狭いスペースへの組み込みが容易です。

性能指標:

モジュール型番

MZ1105-07

MZ1440-10

MZ1603-10

MZ2206-12

MZ2206-14

マークスピード (1)

5000mm/秒

4000mm/秒

4000mm/秒

6000mm/秒

2500mm/秒

位置決定速度 (1)

5000mm/秒

4000mm/秒

4000mm/秒

8000mm/秒

1500mm/秒

書き込み速度 (2)

300個

301個

301個

426個/秒

164個

ステップ応答時間(全行程 1%

360マイクロ秒

370マイクロ秒

370マイクロ秒

<400μs

508ドル

ステップ応答時間(全行程 10%

700マイクロ秒

630マイクロ秒

630マイクロ秒

<1000us

820マイクロ秒

トラッキングエラー

≤162μs

≤202μs

≤202μs

≤164μs

≤360μs

リニアリティ

99.9%

繰り返し位置決め精度

<8μRad

ゲイン誤差

<5mラジアン

ゼロポイントオフセット(バッチ原点誤差)

<5mラジアン

長時間ドリフト(連続稼働 8 時間)

<0.5mRad

比例バイアス

<40PPM/

ゼロポイントドリフト

<15 μラド /

K9 マトリックス

9.1 J/cm²

シー マトリックス

10 J/cm²

レンズの反射波長 (3)

10600nm / 1064nm / 355nm

入力電圧

±15VDC

±15VDC

±15VDC

±15VDC

±24VDC

定格電流

2A

2A

2A

2A

4A

インターフェースプロトコル

XY2-100

スキャン角度

±11°

作業温度

0℃ ~ 45℃

保存温度

-10 ~60

レーザー入力開口率

7mm

10mm

10mm

12mm

14mm

キーワード: スキャンミラーモジュールシリーズ

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スキャンミラーモジュールシリーズ

スキャニングガルバノミラーモジュールは、レーザー技術における重要なコンポーネントであり、主にレーザービームの高速かつ高精度な偏向に使用されます。その核心部品には、ガルバノモーターと反射鏡が含まれ、ガルバノモーターの動きを制御することで、反射鏡が2次元平面内でのレーザービームの偏向を実現し、スキャン、位置決め、マーキングなどのタスクを完了させます。

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製品の特長:

差分式光電センサーは、モーターの回転子位置を高精度で検出し、線形性が良好で、ずれが少なく、分解能と繰り返し定位精度が高い。

■ 過負荷、過電流および逆接保護を備えており、システムの稼働をより信頼性の高いものにしています。

■ システム全体が電磁適合性最適設計を採用しており、信号対雑音比が高く、ノイズ耐性に優れています。

■ フラッピングミラー用モーターの温度ドリフト、信号干渉、ゼロポイントドリフトなどの一般的な問題を解決しました。

■ 電動機の組立精度が高く、構造が合理化されているため、静摩擦係数とゼロ点ずれが小さく、システムの優れた動的特性が保証されます。

■ 機種はコンパクトで、パッケージサイズも小さく、狭いスペースへの組み込みが容易です。

性能指標:

モジュール型番

MZ1105-07

MZ1440-10

MZ1603-10

MZ2206-12

MZ2206-14

マークスピード (1)

5000mm/秒

4000mm/秒

4000mm/秒

6000mm/秒

2500mm/秒

位置決定速度 (1)

5000mm/秒

4000mm/秒

4000mm/秒

8000mm/秒

1500mm/秒

書き込み速度 (2)

300個

301個

301個

426個/秒

164個

ステップ応答時間(全行程 1%

360マイクロ秒

370マイクロ秒

370マイクロ秒

<400μs

508ドル

ステップ応答時間(全行程 10%

700マイクロ秒

630マイクロ秒

630マイクロ秒

<1000us

820マイクロ秒

トラッキングエラー

≤162μs

≤202μs

≤202μs

≤164μs

≤360μs

リニアリティ

99.9%

繰り返し位置決め精度

<8μRad

ゲイン誤差

<5mラジアン

ゼロポイントオフセット(バッチ原点誤差)

<5mラジアン

長時間ドリフト(連続稼働 8 時間)

<0.5mRad

比例バイアス

<40PPM/

ゼロポイントドリフト

<15 μラド /

K9 マトリックス

9.1 J/cm²

シー マトリックス

10 J/cm²

レンズの反射波長 (3)

10600nm / 1064nm / 355nm

入力電圧

±15VDC

±15VDC

±15VDC

±15VDC

±24VDC

定格電流

2A

2A

2A

2A

4A

インターフェースプロトコル

XY2-100

スキャン角度

±11°

作業温度

0℃ ~ 45℃

保存温度

-10 ~60

レーザー入力開口率

7mm

10mm

10mm

12mm

14mm

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