LC1403WD-V-QCS レーザークリーニングガルボシステム
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  • LC1403WD-V-QCS レーザークリーニングガルボシステム

製品の特徴

■ ユニークなレーザークリーニング用ソフトウェア制御システムで、インターフェースは明快かつ簡潔、操作も容易です。アプリケーションに応じてすべてのパラメータを設定・調整でき、レーザー光源およびガルバノスキャナーの制御を実現します。
■ 自社開発のスパイラル洗浄モードにより、お客様はスパイラルの連続数、走査長さおよび走査幅を設定でき、従来のレーザー洗浄で生じるゼブラ模様を回避できます。均一な洗浄面を実現し、基板にダメージを与えません。
■ プロフェッショナルなレーザークリーニング用光学設計により、高耐損傷閾値を備えたミラーと、高い透過率および大きな焦点深度を有するf-thetaレンズを採用し、高出力レーザークリーニングの長時間稼働に対応しています。
■ 高性能レーザー・ガルボスキャナーで、高速走査と高精度を実現し、専用の制御ソフトウェアと組み合わせることで、レーザークリーニングの多様な用途に対応します。
■ ポータブルなハンドヘルド部は、シンプルな構造で人間工学に基づいた設計となっており、操作が容易です。
■ 本洗浄システムの適用範囲は、各種レーザー光源モデルを組み合わせることで大幅に拡大されます。

 

技術的パラメーター

レーザー開口 10mm
清掃分野 100×20mm(その他のサイズはカスタマイズ可能です)
機械式走査角 ±11°
精度と誤差
線形性 99.9%
繰り返し精度(RMS) <8μRad
8時間以上の長期ドリフト <0.5mRad
スケールドリフト <40ppm/℃
ゼロドリフト <15μRad/℃
設定時間 ≤ 0.3ミリ秒
水冷制御
水温 25±3℃
最大水圧 <3バール
流量 >0.6L/分
レーザー
レーザーオプション パルスレーザー
パワーレンジ ≤ 300W
動作電流、温度
定格電流 2A
動作温度 0℃~35℃
保管温度 -10℃~60℃

キーワード: LC1403WD-V-QCS レーザークリーニングガルボシステム

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当社のガルボスキャナーシステムは高速モーターを搭載し、入射開口径は10mmです。小型・軽量で、高速かつ高精度、さらに優れた安定性を備えており、総合的な性能はこの分野における国際水準に達しています。

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■ ユニークなレーザークリーニング用ソフトウェア制御システムで、インターフェースは明快かつ簡潔、操作も容易です。アプリケーションに応じてすべてのパラメータを設定・調整でき、レーザー光源およびガルバノスキャナーの制御を実現します。
■ 自社開発のスパイラル洗浄モードにより、お客様はスパイラルの連続数、走査長さおよび走査幅を設定でき、従来のレーザー洗浄で生じるゼブラ模様を回避できます。均一な洗浄面を実現し、基板にダメージを与えません。
■ プロフェッショナルなレーザークリーニング用光学設計により、高耐損傷閾値を備えたミラーと、高い透過率および大きな焦点深度を有するf-thetaレンズを採用し、高出力レーザークリーニングの長時間稼働に対応しています。
■ 高性能レーザー・ガルボスキャナーで、高速走査と高精度を実現し、専用の制御ソフトウェアと組み合わせることで、レーザークリーニングの多様な用途に対応します。
■ ポータブルなハンドヘルド部は、シンプルな構造で人間工学に基づいた設計となっており、操作が容易です。
■ 本洗浄システムの適用範囲は、各種レーザー光源モデルを組み合わせることで大幅に拡大されます。

 

技術的パラメーター

レーザー開口 10mm
清掃分野 100×20mm(その他のサイズはカスタマイズ可能です)
機械式走査角 ±11°
精度と誤差
線形性 99.9%
繰り返し精度(RMS) <8μRad
8時間以上の長期ドリフト <0.5mRad
スケールドリフト <40ppm/℃
ゼロドリフト <15μRad/℃
設定時間 ≤ 0.3ミリ秒
水冷制御
水温 25±3℃
最大水圧 <3バール
流量 >0.6L/分
レーザー
レーザーオプション パルスレーザー
パワーレンジ ≤ 300W
動作電流、温度
定格電流 2A
動作温度 0℃~35℃
保管温度 -10℃~60℃

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